科技部增材制造重点专项2017年度项目申报指南(4)
2.5 复杂微细结构的激光加工与测量技术及装备（重大共性关键技术类）
研究内容：研究微细激光光束聚焦机理及激光扫描方法；研究突破激光衍射极限的高深宽比纳米结构的激光加工技术；研究超细激光制造过程监测和加工质量控制方法；开发超细激光聚焦加工样机及质量检测设备。
考核指标：研制出微细激光聚焦加工样机，加工范围不小于100mm×10mm×100nm，实现深宽比>10:1三维纳米结构，以及特征尺度<10nm的二维纳米结构激光制造；开发出横向分辨率< 100nm，轴向分辨率< 1nm并且测量范围不小于100mm×10mm×100nm的超分辨三维光学测量装置。实现1-2件微纳器件制造应用。
2.6 激光高性能连接/超精密焊接装备（重大共性关键技术类）
研究内容：面向国家重大需求，研究两个方面内容：（1）研究纳米材料/结构的激光制造并用于低温连接高温服役电子器件的连接技术；研究复杂微纳尺度操作与激光光束协同控制、同质/异质材料可控纳米连接技术与装备。（2）研究光电器件超精密激光焊接技术；突破位置精确搜索、亚微米精度运动控制、激光束精确整形传输、焊点微位移控制等关键技术；研制光电器件的超精密激光焊接装备。
考核指标：（1）研发激光纳米连接装备，精度优于40nm；实现低温连接(<250℃)高温服役(>300℃)的微纳功能器件连接制造，寿命加速实验满足相关器件国际标准；实现纳米材料激光无损连接，且接头强度超过母材的90%；应用于2-3项新型微纳功能器件。（2）研制不少于3类超精密激光焊接装备，焊接精度优于1μm，支撑光电器件精密焊接的重大应用，如光通信激光器焊接、有机显示屏密封、卫星准直器焊接等。
有关说明：激光纳米连接装备、超精密激光焊接装备可以分别申报。
2.7大型构件的激光高效清洗装备（重大共性关键技术类）
研究内容：研究激光对材料涂层、污物及微小颗粒等作用的物理机制及激光清洗方法；研究激光时间-空间-功率、热变形等对制造性能影响的多元参数实时在线检测与矫正技术；开发针对大型构件高效激光清洗、复杂构件选区清洗成套装备技术。
考核指标：面向航天、高铁、海洋等领域的重大需求，研发多元参数矫正系统（光斑尺寸与平均功率输出精度误差优于1%）；研发不少于2类激光清洗装备并实现典型工程应用验证：（1）大型构件涂层清洗效率大于40m2/h，清洗厚度精度优于10μm；（2）选区清洗定位精度优于0.1mm，金属构件清洗质量不低于Sa3级。
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